微导纳米拟募资近50亿元加码先进半导体设备研发

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发布时间：2026-10-13 02:28:14

[摘要] 半导体设备领域又见大手笔投资。微导纳米（688147）拟定增募资不超49.44亿元，加码尖端技术研发和产业升级。　　10月12日晚间，微导纳米公告称，公司拟向特定对象发行A股股票，募集资金总额不超过49.44亿元，扣除发行费用后拟用于尖端薄膜沉积技术研发中心项目、无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目、华中先进半导体设备产业化项目及补充流动资金。　　拆分来看，尖端薄膜沉积技术研

半导体设备行业再现重大投资动作。微导纳米（688147）计划通过定向增发募集不超过49.44亿元资金，用于加强尖端技术研发及推动产业升级。

10月12日晚间，微导纳米发布公告披露，公司将向特定对象发行A股股票，募集资金上限为49.44亿元。在扣除发行费用之后，这些资金将投向尖端薄膜沉积技术研发中心项目、无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目、华中先进半导体设备产业化项目，以及用于补充流动资金。

具体到各项目的资金分配，尖端薄膜沉积技术研发中心项目计划使用募集资金32.25亿元，无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目拟投入7.29亿元，华中先进半导体设备产业化项目拟投入2.89亿元，另有7亿元用于补充流动资金。

从投资方向分析，此次募投项目均围绕公司主营业务展开，即以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种薄膜沉积技术梯次发展，承担着成熟产品升级迭代、重点市场区域化产业布局、下一代先进工艺设备研发以及营运资金保障等多项功能。

目前，微导纳米的半导体设备业务正处于高速扩张阶段。2025年，公司半导体设备收入达到8.81亿元，同比增幅169.12%，在主营业务收入中占比33.49%。截至2026年6月，公司半导体设备在手订单规模已攀升至26.98亿元。

微导纳米方面表示，现有生产条件在支持多品类产品并行量产以及大量订单集中交付方面存在一定压力，此次扩产将有效增强交付保障能力。同时，募投项目中的“尖端薄膜沉积技术研发中心项目”聚焦先进逻辑、先进存储、先进封装等领域的前沿应用，在现有ALD、CVD技术体系之上，进一步拓展PVD、ALE等技术路线，为未来工艺节点储备关键技术能力。

关键词： 微导纳米拟募 50亿元加码先进半导体设备